Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS : JM³
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| Titolo: |
Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS : JM³
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| Pubblicazione: | [Bellingham, WA], : SPIE-The International Society of Optical Engineering, ©2007- |
| Disciplina: | 620 |
| Soggetto topico: | Nanolithography |
| Microelectronics | |
| Microlithography | |
| Microfabrication | |
| Soggetto genere / forma: | Periodicals. |
| ISSN: | 1932-5134 |
| Note generali: | Refereed/Peer-reviewed |
| Titolo abbreviato (Periodici): | J. MICRO/NANOLITHOGR. MEMS MOEMS |
| J MICRO-NANOLITH MEM | |
| NANOLITH MEM | |
| J. MICRO-NANOLITHOGR. MEMS MOEMS | |
| J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS | |
| Altri titoli varianti: | JM³ |
| J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS | |
| Titolo autorizzato: | Journal of micro |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Periodico |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 996334349903316 |
| Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |