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1. |
Record Nr. |
UNISA996334349903316 |
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Titolo |
Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS : JM³ |
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Pubbl/distr/stampa |
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[Bellingham, WA], : SPIE-The International Society of Optical Engineering, ©2007- |
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ISSN |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Nanolithography |
Microelectronics |
Microlithography |
Microfabrication |
Periodicals. |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Periodico |
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Note generali |
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