Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications
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| Titolo: |
Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications
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| Pubblicazione: | [Place of publication not identified], : Noyes Publications, 1993 |
| Disciplina: | 621.3815/2 |
| Soggetto topico: | Semiconductor wafers - Cleaning |
| Electrical & Computer Engineering | |
| Engineering & Applied Sciences | |
| Electrical Engineering | |
| Persona (resp. second.): | KernWerner |
| Note generali: | Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph |
| Titolo autorizzato: | Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications |
| ISBN: | 0-8155-1772-6 |
| 1-59124-093-X | |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9911006684903321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |