Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren

• Autore: Schüle Sven
• Pubblicazione: KIT Scientific Publishing, 2010
• Descrizione fisica: 1 electronic resource (176 p. p.)
• Soggetto non controllato: Mikrosystemtechnik; Interferometer; LIGA-Mikrosysteme; Mikroaktorik; modulare Mikrosysteme
• Sommario/riassunto: Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.
• Titolo autorizzato: Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren
• ISBN: 1000018509
• Formato: Materiale a stampa
• Livello bibliografico: Monografia
• Lingua di pubblicazione: Tedesco
• Record Nr.: 9910346913803321
• Lo trovi qui: Univ. Federico II