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1. |
Record Nr. |
UNINA9910346913803321 |
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Autore |
Schüle Sven |
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Titolo |
Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren |
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Pubbl/distr/stampa |
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KIT Scientific Publishing, 2010 |
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ISBN |
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Descrizione fisica |
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1 online resource (176 p. p.) |
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Collana |
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Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik |
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Soggetti |
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Technology: general issues |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Sommario/riassunto |
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Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten. |
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