01728nam 2200361z- 450 991034691380332120231214141132.01000018509(CKB)4920000000101384(oapen)https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/53802(EXLCZ)99492000000010138420202102d2010 |y 0gerurmn|---annantxtrdacontentcrdamediacrrdacarrierModular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit MikroaktorenKIT Scientific Publishing20101 electronic resource (176 p. p.)Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik3-86644-529-6 Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.MikrosystemtechnikInterferometerLIGA-MikrosystemeMikroaktorikmodulare MikrosystemeSchüle Svenauth1290977BOOK9910346913803321Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren3021716UNINA