Laser Heat-Mode Lithography : Principle and Methods / Jingsong Wei
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| Autore: |
Wei, Jingsong
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| Titolo: |
Laser Heat-Mode Lithography : Principle and Methods / Jingsong Wei
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| Pubblicazione: | Singapore, : Springer, 2019 |
| Titolo uniforme: | Laser Heat-Mode Lithography : Principle and Methods |
| Descrizione fisica: | xiii, 208 p. : ill. ; 24 cm |
| Soggetto topico: | 00A79 (77-XX) - Physics [MSC 2020] |
| 78A60 - Lasers, masers, optical bistability, nonlinear optics [MSC 2020] | |
| 74K35 - Thin films [MSC 2020] | |
| 74A50 - Structured surfaces and interfaces, coexistent phases [MSC 2020] | |
| Soggetto non controllato: | Arbitrary pattern writing |
| Maskless lithography | |
| Metallo-organic compound | |
| Phase change | |
| Thermal diffusion | |
| Titolo autorizzato: | Laser Heat-Mode Lithography : Principle and Methods |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | VAN0219625 |
| Lo trovi qui: | Univ. Vanvitelli |
| Localizzazioni e accesso elettronico | http://doi.org/10.1007/978-981-15-0943-8 |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Serie:
Springer series in materials science Berlin . -Springer ; 291