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Titolo: |
Plasma processing of materials [[electronic resource] ] : scientific opportunities and technological challenges / / Panel on Plasma Processing of Materials, Plasma Science Committee, Board on Physics and Astronomy, Commission on Physical Sciences, Mathematics, and Applications, National Research Council
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Pubblicazione: | Washington, D.C., : National Academy Press, 1991 |
Descrizione fisica: | 1 online resource (87 p.) |
Disciplina: | 621.044 |
Soggetto topico: | Plasma engineering |
Microelectronics - Materials - Effect of radiation on | |
Surfaces (Technology) | |
Soggetto genere / forma: | Electronic books. |
Note generali: | Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph |
Titolo autorizzato: | Plasma processing of materials ![]() |
ISBN: | 1-280-20336-6 |
9786610203369 | |
0-309-58375-6 | |
0-585-08463-7 | |
Formato: | Materiale a stampa ![]() |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | 9910456249303321 |
Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |