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Titolo: | Beam technologies for integrated processing [[electronic resource] ] : report of the Committee on Beam Technologies: Opportunities in Attaining Fully-Integrated Processing Systems, National Materials Advisory Board, Commission on Engineering and Technical Systems, National Research Council |
Pubblicazione: | Washington, D.C., : National Academy Press, 1992 |
Descrizione fisica: | 1 online resource (101 p.) |
Disciplina: | 621.381 |
Soggetto topico: | Microelectronics industry |
Molecular beams - Industrial applications | |
Microelectronics - Materials | |
Plasma-enhanced chemical vapor deposition - Industrial applications | |
Note generali: | "NMAB-461." |
Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references. |
Titolo autorizzato: | Beam technologies for integrated processing |
ISBN: | 1-280-21147-4 |
9786610211470 | |
0-309-58395-0 | |
0-585-14945-3 | |
Formato: | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | 9910778508703321 |
Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |