Low-k nanoporous interdielectrics [[electronic resource] ] : materials, thin film fabrications, structures and properties / / Moonhor Ree, Jinhwan Yoon and Kyuyoung Heo
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| Autore: |
Ree Moonhor
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| Titolo: |
Low-k nanoporous interdielectrics [[electronic resource] ] : materials, thin film fabrications, structures and properties / / Moonhor Ree, Jinhwan Yoon and Kyuyoung Heo
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| Pubblicazione: | Hauppauge, N.Y., : Nova Science Publishers, c2010 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (77 p.) |
| Disciplina: | 621.381 |
| Soggetto topico: | Dielectric films |
| Microelectronics - Materials | |
| Porous materials | |
| Interconnects (Integrated circuit technology) | |
| Soggetto genere / forma: | Electronic books. |
| Altri autori: |
YoonJinhwan
HeoKyuyoung
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| Note generali: | Description based upon print version of record. |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references (p. [51]-61) and index. |
| Titolo autorizzato: | Low-k nanoporous interdielectrics |
| ISBN: | 1-61728-318-5 |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910461354803321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Serie:
Nanotechnology science and technology series.