DIY MEMS : Fabricating Microelectromechanical Systems in Open Use Labs / Deborah Munro
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| Autore: |
Munro, Deborah
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| Titolo: |
DIY MEMS : Fabricating Microelectromechanical Systems in Open Use Labs / Deborah Munro
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| Pubblicazione: | Cham, : Springer, 2019 |
| Titolo uniforme: | DIY MEMS : Fabricating Microelectromechanical Systems in Open Use Labs |
| Descrizione fisica: | xvi, 188 p. : ill. ; 24 cm |
| Soggetto topico: | 00A79 (77-XX) - Physics [MSC 2020] |
| 94Cxx - Circuits, networks [MSC 2020] | |
| Soggetto non controllato: | Actuators |
| Biomedical Engineering | |
| Cleanrooms | |
| DIY | |
| Fabrication | |
| Lithography | |
| MEMS | |
| MEMS Packaging | |
| Microelectromechanical systems | |
| Microfabrication | |
| NNCI | |
| Nanotechnology | |
| National Nanotechnology Infrastructure Network | |
| Open use labs | |
| Soft materials | |
| Titolo autorizzato: | DIY MEMS : Fabricating Microelectromechanical Systems in Open Use Labs |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | VAN0215448 |
| Lo trovi qui: | Univ. Vanvitelli |
| Localizzazioni e accesso elettronico | http://doi.org/10.1007/978-3-030-33073-6 |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |