Vai al contenuto principale della pagina
Titolo: | 22nd European Mask and Lithography Conference : 23-26 January 2006 |
Pubblicazione: | New York : , : IEEE, , 2011 |
Descrizione fisica: | 1 online resource (175 pages) |
Disciplina: | 621.3815 |
Soggetto topico: | Microlithography |
Integrated circuits - Masks | |
Altri autori: | BehringerUwe F. W |
Titolo autorizzato: | 22nd European Mask and Lithography Conference |
Formato: | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | 996215980503316 |
Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |