22nd European Mask and Lithography Conference : 23-26 January 2006

• Record Nr.: UNISA996215980503316
• Pubbl/distr/stampa: New York : , : IEEE, , 2011
• Descrizione fisica: 1 online resource (175 pages)
• Altri autori (Persone): BehringerUwe F. W
• Disciplina: 621.3815
• Soggetti: Microlithography; Integrated circuits - Masks
• Lingua di pubblicazione: Inglese
• Formato: Materiale a stampa
• Livello bibliografico: Monografia