Electron beam technology in microelectronic fabrication / edited by George R. Brewer
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| Titolo: |
Electron beam technology in microelectronic fabrication / edited by George R. Brewer
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| Pubblicazione: | New York : Academic Press, 1980 |
| Descrizione fisica: | XI, 362 p. : ill. ; 23 cm |
| Disciplina: | 621.381 |
| Soggetto topico: | Elettronica |
| Litografia | |
| Persona (resp. second.): | BREWER, George Raymond |
| Titolo autorizzato: | Electron beam technology in microelectronic fabrication |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 990001540360203316 |
| Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
| Collocazione: | XV B 328 |
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Fa parte di:
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| Biblioteca: | Univ. di Salerno |
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