Atzverfahren Fur Die Mikrotechnik
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| Autore: |
Kohler
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| Titolo: |
Atzverfahren Fur Die Mikrotechnik
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| Pubblicazione: | [Place of publication not identified], : Wiley VCH Imprint, 1998 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (409 pages) |
| Disciplina: | 540 |
| Soggetto topico: | Masks (Electronics) |
| Microlithography | |
| Plasma etching | |
| Note generali: | Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph |
| Nota di contenuto: | Einführung -- Besonderheiten mikrotechnischer Ätzverfahren -- Nassätzverfahren -- Trockenätzverfahren -- Mikroformgebung durch Ätzen von lokal verändertem Material -- Ausgewählte Vorschriften. |
| Titolo autorizzato: | Atzverfahren Fur Die Mikrotechnik |
| ISBN: | 1-280-55937-3 |
| 9786610559374 | |
| 3-527-60291-7 | |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Tedesco |
| Record Nr.: | 9910830441103321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |