01691oam 2200529zu 450 991083044110332120230421042336.01-280-55937-397866105593743-527-60291-7(CKB)1000000000019211(SSID)ssj0000289455(PQKBManifestationID)11260365(PQKBTitleCode)TC0000289455(PQKBWorkID)10385455(PQKB)10534617(MiAaPQ)EBC4957185(Au-PeEL)EBL4957185(CaONFJC)MIL55937(OCoLC)956675365(NjHacI)991000000000019211(EXLCZ)99100000000001921120160829d1998 uy gerurcnu||||||||txtccrAtzverfahren Fur Die Mikrotechnik[Place of publication not identified]Wiley VCH Imprint19981 online resource (409 pages)Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph3-527-28869-4 Einführung -- Besonderheiten mikrotechnischer Ätzverfahren -- Nassätzverfahren -- Trockenätzverfahren -- Mikroformgebung durch Ätzen von lokal verändertem Material -- Ausgewählte Vorschriften.Masks (Electronics)MicrolithographyPlasma etchingMasks (Electronics)Microlithography.Plasma etching.540Kohler1701157PQKBBOOK9910830441103321Atzverfahren Fur Die Mikrotechnik4084718UNINA