|
|
|
|
|
|
|
|
1. |
Record Nr. |
UNINA9910830441103321 |
|
|
Autore |
Kohler |
|
|
Titolo |
Atzverfahren Fur Die Mikrotechnik |
|
|
|
|
|
Pubbl/distr/stampa |
|
|
[Place of publication not identified], : Wiley VCH Imprint, 1998 |
|
|
|
|
|
|
|
ISBN |
|
1-280-55937-3 |
9786610559374 |
3-527-60291-7 |
|
|
|
|
|
|
|
|
Descrizione fisica |
|
1 online resource (409 pages) |
|
|
|
|
|
|
Disciplina |
|
|
|
|
|
|
Soggetti |
|
Masks (Electronics) |
Microlithography |
Plasma etching |
|
|
|
|
|
|
|
|
Lingua di pubblicazione |
|
|
|
|
|
|
Formato |
Materiale a stampa |
|
|
|
|
|
Livello bibliografico |
Monografia |
|
|
|
|
|
Note generali |
|
Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph |
|
|
|
|
|
|
Nota di contenuto |
|
Einführung -- Besonderheiten mikrotechnischer Ätzverfahren -- Nassätzverfahren -- Trockenätzverfahren -- Mikroformgebung durch Ätzen von lokal verändertem Material -- Ausgewählte Vorschriften. |
|
|
|
|
|
|
|