Micro and Nano Fabrication : Tools and Processes / Hans H. Gatzen, Volker Saile, Jürg Leuthold ; with a Foreward and an Introduction by Richard S. Muller

• Autore: Gatzen, Hans H.
• Pubblicazione: XXVI, 519 p., : ill. ; 24 cm
• Edizione: Berlin : Springer, 2015
• Altri autori: Leuthold, Jürg Saile, Volker
• Persona (resp. second.): Muller, Richard S.
• Titolo autorizzato: Micro and Nano Fabrication
• ISBN: 978-36-624-4394-1
• Formato: Materiale a stampa
• Livello bibliografico: Monografia
• Lingua di pubblicazione: Inglese
• Record Nr.: VAN0109793
• Lo trovi qui: Univ. Vanvitelli
• Localizzazioni e accesso elettronico: https://link.springer.com/book/10.1007%2F978-3-662-44395-8