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1. |
Record Nr. |
UNICAMPANIAVAN0109793 |
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Autore |
Gatzen, Hans H. |
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Titolo |
Micro and Nano Fabrication : Tools and Processes / Hans H. Gatzen, Volker Saile, Jürg Leuthold ; with a Foreward and an Introduction by Richard S. Muller |
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Pubbl/distr/stampa |
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XXVI, 519 p., : ill. ; 24 cm |
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ISBN |
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Edizione |
[Berlin : Springer, 2015] |
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Altri autori (Persone) |
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Leuthold, Jürg |
Saile, Volker |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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