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IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors : RTP



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Titolo: IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors : RTP Visualizza cluster
Pubblicazione: Piscataway, N.J., : IEEE, ©2002-
Disciplina: 537.622
Soggetto topico: Semiconductors - Heat treatment
Rapid thermal processing
Semiconductor doping
Semiconductors - Defects
Soggetto genere / forma: Periodicals.
Conference papers and proceedings.
ISSN: 1944-026X
Note generali: Title from PDF of title page (viewed August 10, 2004).
Titolo abbreviato (Periodici): INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCED THERMAL PROCESSING OF SEMICONDUCTORS
IEEE Int. Conf. Adv. Therm. Processing Semicond
Altri titoli varianti: RTP
Advanced thermal processing of semiconductors
Rapid Thermal Processing
Proceedings of the IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors
Titolo autorizzato: IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors  Visualizza cluster
Formato: Materiale a stampa
Livello bibliografico Periodico
Lingua di pubblicazione: Inglese
Record Nr.: 996279733603316
Lo trovi qui: Univ. di Salerno
Opac: Controlla la disponibilità qui