Handbook of silicon wafer cleaning technology / / edited by Karen Reinhardt, Werner Kern
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| Titolo: |
Handbook of silicon wafer cleaning technology / / edited by Karen Reinhardt, Werner Kern
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| Pubblicazione: | Oxford, [England] ; ; Cambridge, [Massachusetts] : , : William Andrew, , 2018 |
| ©2018 | |
| Edizione: | Third edition. |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (775 pages) |
| Disciplina: | 621.38152 |
| Soggetto topico: | Silicon-on-insulator technology |
| Persona (resp. second.): | ReinhardtKaren |
| KernWerner | |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |
| Titolo autorizzato: | Handbook of silicon wafer cleaning technology |
| ISBN: | 0-323-51085-X |
| 0-323-51084-1 | |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910583322903321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |