Handbook of silicon wafer cleaning technology / / edited by Karen Reinhardt, Werner Kern

• Record Nr.: UNINA9910583322903321
• Pubbl/distr/stampa: Oxford, [England] ; ; Cambridge, [Massachusetts] : , : William Andrew, , 2018; ©2018
• ISBN: 0-323-51085-X; 0-323-51084-1
• Edizione: [Third edition.]
• Descrizione fisica: 1 online resource (775 pages)
• Disciplina: 621.38152
• Soggetti: Silicon-on-insulator technology
• Lingua di pubblicazione: Inglese
• Formato: Materiale a stampa
• Livello bibliografico: Monografia
• Nota di bibliografia: Includes bibliographical references and index.