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Autore: | Li, Zhiqiang |
Titolo: | The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices : Doctoral Thesis accepted by Peking University, Beijing, China / Zhiqiang Li |
Pubblicazione: | Berlin ; Heidelberg, : Springer, 2016 |
Titolo uniforme: | The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices |
Descrizione fisica: | xiv, 59 p. : ill. ; 24 cm |
Soggetto topico: | 74Axx - Generalities, axiomatics, foundations of continuum mechanics of solids [MSC 2020] |
00A79 (77-XX) - Physics [MSC 2020] | |
Soggetto non controllato: | Contact resistance |
Dopant activation | |
Dopant segregation | |
Germanium-based MOSFET | |
MOS device | |
Nickel germanide | |
Source and drain | |
Thermal stability | |
Titolo autorizzato: | Source |
Formato: | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | VAN0157189 |
Lo trovi qui: | Univ. Vanvitelli |
Localizzazioni e accesso elettronico | http://doi.org/10.1007/978-3-662-49683-1 |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |