Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies : Origin, Characterization, Control, and Device Impact / Cor Claeys, Eddy Simoen
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| Autore: |
Claeys, Cor
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| Titolo: |
Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies : Origin, Characterization, Control, and Device Impact / Cor Claeys, Eddy Simoen
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| Pubblicazione: | Cham, : Springer, 2018 |
| Descrizione fisica: | XXXIII, 438 p. : ill. ; 24 cm |
| Disciplina: | 621.36(Ingegneria ottica. Ottica applicata) |
| 620.1(Scienze dei materiali) | |
| 541.377(Semiconduttori) | |
| 537.5344(Microonde e onde a frequenza ultraalta) | |
| Altri autori: |
Simoen, Eddy
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| Titolo autorizzato: | Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | VAN0125711 |
| Lo trovi qui: | Univ. Vanvitelli |
| Localizzazioni e accesso elettronico | https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-319-93925-4 |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Serie:
Springer series in materials science Berlin . -Springer ; 270