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| Titolo: |
Handbook of thin film process technology / editors David A. Glocker, S. Ismat Shah
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| Pubblicazione: | Bristol ; Philadelphia, : Institute of physics, 1995 |
| Descrizione fisica: | XII, 1 v. (paginazione varia) : ill. ; 30 cm |
| Disciplina: | 621.38152 |
| Persona (resp. second.): | Glocker, David A. |
| Shah, S. Ismat | |
| Titolo autorizzato: | Handbook of thin film process technology ![]() |
| ISBN: | 07-503-0311-5 |
| Formato: | Materiale a stampa |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | VAN00027322 |
| Lo trovi qui: | Univ. Vanvitelli |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |