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| Autore: |
Yu, Bei
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| Titolo: |
Design for Manufacturability with Advanced Lithography / Bei Yu, David Z. Pan
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| Pubblicazione: | xi, 164 p. ; 24 cm |
| Edizione: | Cham : Springer, 2016 |
| Altri autori: |
Pan, David Z.
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| Titolo autorizzato: | Design for Manufacturability with Advanced Lithography ![]() |
| Formato: | Materiale a stampa |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | VAN0119624 |
| Lo trovi qui: | Univ. Vanvitelli |
| Localizzazioni e accesso elettronico | https://link.springer.com/book/10.1007%2F978-3-319-20385-0 |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |