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1. |
Record Nr. |
UNICAMPANIAVAN0119624 |
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Autore |
Yu, Bei |
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Titolo |
Design for Manufacturability with Advanced Lithography / Bei Yu, David Z. Pan |
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Pubbl/distr/stampa |
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Edizione |
[Cham : Springer, 2016] |
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Altri autori (Persone) |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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