MyFEMOS : Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren / / Manfred Bär
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| Autore: |
Bär Manfred
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| Titolo: |
MyFEMOS : Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren / / Manfred Bär
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| Pubblicazione: | Karlsruhe : , : KIT Scientific Publishing, , 2006 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (110 pages) : illustrations |
| Disciplina: | 621.381045 |
| Soggetto topico: | Optoelectronics |
| Sommario/riassunto: | Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung "Small Equipment for small Parts" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben. |
| Titolo autorizzato: | MyFEMOS |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Tedesco |
| Record Nr.: | 9910688460503321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |