01491nam 2200349 450 991068846050332120230628151546.0(CKB)5400000000040376(NjHacI)995400000000040376(EXLCZ)99540000000004037620230628d2006 uy 0gerur|||||||||||txtrdacontentcrdamediacrrdacarrierMyFEMOS Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren /Manfred BärKarlsruhe :KIT Scientific Publishing,2006.1 online resource (110 pages) illustrationsSchriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik, Automatisierungstechnik, Universität Karlsruhe (TH) ;Band 101000003769 Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung "Small Equipment for small Parts" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.OptoelectronicsOptoelectronics.621.381045Bär Manfred1369303NjHacINjHaclBOOK9910688460503321MyFEMOS3395440UNINA