Handbook of thin film process technology / editors David A. Glocker, S. Ismat Shah
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| Titolo: |
Handbook of thin film process technology / editors David A. Glocker, S. Ismat Shah
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| Pubblicazione: | Bristol ; Philadelphia : IoP, c1995- |
| Descrizione fisica: | v. ; 31 cm. |
| Disciplina: | 530.4175 |
| Soggetto topico: | Film sottili -- Fisica |
| Persona (resp. second.): | GLOCKER, David A. |
| SHAH, S. Ismat | |
| Note generali: | A fogli mobili, aggiornati periodicamente |
| Titolo autorizzato: | Handbook of thin film process technology |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 990001837030203316 |
| Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
| Collocazione: | 530.4175 HAN |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Fa parte di:
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Comprende:
98/1: Reactive sputtering
98/2: Recipes for optical materials
[Supplement] 99/1: Substrate preparation for thin film deposition
| Biblioteca: | Univ. di Salerno |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |