Atomlagenabscheidung von hafniumoxid / / Thomas Zilbauer
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| Autore: |
Zilbauer Thomas
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| Titolo: |
Atomlagenabscheidung von hafniumoxid / / Thomas Zilbauer
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| Pubblicazione: | Göttingen, [Germany] : , : Cuvillier Verlag, , 2010 |
| ©2010 | |
| Edizione: | 1. Auflage. |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (152 pages) : illustrations (some color) |
| Disciplina: | 660.04 |
| Soggetto topico: | Chemical vapor deposition |
| Atomic layer deposition | |
| Hafnium oxide | |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references. |
| Titolo autorizzato: | Atomlagenabscheidung von hafniumoxid |
| ISBN: | 3-7369-3270-7 |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Tedesco |
| Record Nr.: | 9910794942103321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |