Atomlagenabscheidung von hafniumoxid / / Thomas Zilbauer

• Record Nr.: UNINA9910794942103321
• Autore: Zilbauer Thomas
• Pubbl/distr/stampa: Göttingen, [Germany] : , : Cuvillier Verlag, , 2010; ©2010
• ISBN: 3-7369-3270-7
• Edizione: [1. Auflage.]
• Descrizione fisica: 1 online resource (152 pages) : illustrations (some color)
• Disciplina: 660.04
• Soggetti: Chemical vapor deposition; Atomic layer deposition; Hafnium oxide
• Lingua di pubblicazione: Tedesco
• Formato: Materiale a stampa
• Livello bibliografico: Monografia
• Nota di bibliografia: Includes bibliographical references.