Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society, American Institute of Physics. - 1964-1982
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| Titolo: |
Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society, American Institute of Physics. - 1964-1982
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| Pubblicazione: | Washington, 1964-1982 |
| CDU: | CDU 533.5 |
| ISSN: | 0022-5355 |
| Altri autori (Enti): | American Vacuum Societyauthor AIP <American Institute of Physics> |
| Note generali: | Si scinde in: Journal of vacuum science and technology A: Vacuum, surfaces and films ; Journal of vacuum science and technology B: Microelectronics processing and phenomena |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Periodico |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 991002667759707536 |
| Lo trovi qui: | Univ. del Salento |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Altra ed. diverso supporto:
2331-1754