ISSM : International Symposium on Semiconductor Manufacturing, 2016 : proceedings of technical papers : December 12-13, 2016, KFC Hall, Tokyo, Japan

• Pubblicazione: New York : , : IEEE, , 2017
• Descrizione fisica: 1 online resource (xvi, 498 pages)
• Soggetto topico: Electronic industries; Semiconductors - Design and construction; Computer integrated manufacturing systems
• Titolo autorizzato: ISSM
• ISBN: 1-5090-4511-2
• Formato: Materiale a stampa
• Livello bibliografico: Monografia
• Lingua di pubblicazione: Inglese
• Record Nr.: 996280473903316
• Lo trovi qui: Univ. di Salerno