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1. |
Record Nr. |
UNISA996280473903316 |
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Titolo |
ISSM : International Symposium on Semiconductor Manufacturing, 2016 : proceedings of technical papers : December 12-13, 2016, KFC Hall, Tokyo, Japan |
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Pubbl/distr/stampa |
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New York : , : IEEE, , 2017 |
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ISBN |
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Descrizione fisica |
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1 online resource (xvi, 498 pages) |
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Soggetti |
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Electronic industries |
Semiconductors - Design and construction |
Computer integrated manufacturing systems |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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