23rd European Mask and Lithography Conference : 22-26 January 2007
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| Titolo: |
23rd European Mask and Lithography Conference : 22-26 January 2007
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| Pubblicazione: | New York : , : IEEE, , 2011 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (230 pages) |
| Soggetto topico: | Microlithography |
| Integrated circuits - Masks | |
| Titolo autorizzato: | 23rd European Mask and Lithography Conference |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 996215980403316 |
| Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |