23rd European Mask and Lithography Conference : 22-26 January 2007

• Record Nr.: UNISA996215980403316
• Pubbl/distr/stampa: New York : , : IEEE, , 2011
• Descrizione fisica: 1 online resource (230 pages)
• Soggetti: Microlithography; Integrated circuits - Masks
• Lingua di pubblicazione: Inglese
• Formato: Materiale a stampa
• Livello bibliografico: Monografia