1.

Record Nr.

UNISA996215980403316

Titolo

23rd European Mask and Lithography Conference : 22-26 January 2007

Pubbl/distr/stampa

New York : , : IEEE, , 2011

Descrizione fisica

1 online resource (230 pages)

Soggetti

Microlithography

Integrated circuits - Masks

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia