Reliability of MEMS [[electronic resource] /] / edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya
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| Titolo: |
Reliability of MEMS [[electronic resource] /] / edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya
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| Pubblicazione: | Weinheim, : Wiley-VCH, c2008 |
| Edizione: | 11th ed. |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (0 p.) |
| Disciplina: | 615.7 |
| Soggetto topico: | Microelectromechanical systems - Reliability |
| Electrical engineering | |
| Altri autori: |
TsuchiyaToshiyuki
TabataOsamu <1956->
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| Note generali: | "Testing of materials and devices". |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |
| Titolo autorizzato: | Reliability of MEMS |
| ISBN: | 1-281-94693-1 |
| 9786611946937 | |
| 3-527-62213-6 | |
| 3-527-62256-X | |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910829996103321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Serie:
Advanced micro & nanosystems ; ; v.6.