Workshop on mass flow measurement and control for the semiconductor industry / / Robert F. Berg, David S. Green, George E. Mattingly
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| Autore: |
Berg Robert F
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| Titolo: |
Workshop on mass flow measurement and control for the semiconductor industry / / Robert F. Berg, David S. Green, George E. Mattingly
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| Pubblicazione: | Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 2001 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource |
| Altri autori: |
BergRobert F
GreenDavid S
MattinglyG. E
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| Note generali: | 2001. |
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| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references. |
| Titolo autorizzato: | Workshop on mass flow measurement and control for the semiconductor industry |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910711191003321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |