Micro/Nanolithography : A Heuristic Aspect on the Enduring Technology / / edited by Jagannathan Thirumalai
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| Titolo: |
Micro/Nanolithography : A Heuristic Aspect on the Enduring Technology / / edited by Jagannathan Thirumalai
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| Pubblicazione: | Croatia : , : IntechOpen, , 2018 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource (134 pages) : illustrations |
| Disciplina: | 621.381531 |
| Soggetto topico: | Microlithography |
| Persona (resp. second.): | ThirumalaiJagannathan |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references. |
| Altri titoli varianti: | Micro/nanolithography |
| Titolo autorizzato: | Micro |
| ISBN: | 1-83881-293-8 |
| 1-78923-031-4 | |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910317822403321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |