IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium : [proceedings]
(Visualizza in formato marc)
(Visualizza in BIBFRAME)
| Titolo: |
IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium : [proceedings]
|
| Pubblicazione: | New York, NY, : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c1989-c1993 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource |
| Disciplina: | 621.3815/2 |
| Soggetto topico: | Semiconductors - Design and construction |
| Semiconductor industry - Production control | |
| Semiconductor industry - Management | |
| Process control | |
| Soggetto genere / forma: | Conference papers and proceedings. |
| Titolo autorizzato: | IEEE |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Periodico |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 996279899403316 |
| Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |