Flash Lamp Annealing : From Basics to Application / Lars Rebohle, Slawomir Prucnal, Denise Reichel
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| Autore: |
Rebohle, Lars
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| Titolo: |
Flash Lamp Annealing : From Basics to Application / Lars Rebohle, Slawomir Prucnal, Denise Reichel
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| Pubblicazione: | Cham, : Springer, 2019 |
| Titolo uniforme: | Flash Lamp Annealing |
| Descrizione fisica: | xviii, 288 p. : ill. ; 24 cm |
| Soggetto topico: | 00A79 (77-XX) - Physics [MSC 2020] |
| 78-XX - Optics, electromagnetic theory [MSC 2020] | |
| 82-XX - Statistical mechanics, structure of matter [MSC 2020] | |
| 83-XX - Relativity and gravitational theory [MSC 2020] | |
| Soggetto non controllato: | FLA assisted deposition |
| High-k dielectrics | |
| High-k materials | |
| Millisecond annealing | |
| Semiconductor Nanostructures | |
| Transparent conducting oxides | |
| Altri autori: |
Prucnal, Slawomir
Reichel, Denise
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| Titolo autorizzato: | Flash Lamp Annealing |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | VAN00215761 |
| Lo trovi qui: | Univ. Vanvitelli |
| Localizzazioni e accesso elettronico | http://doi.org/10.1007/978-3-030-23299-3 |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Serie:
Springer series in materials science Berlin . -Springer ; 288