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98/1: Reactive sputtering / editors David A. Glocker, S. Ismat Shah ; guest editor William D. Westwood



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Titolo: 98/1: Reactive sputtering / editors David A. Glocker, S. Ismat Shah ; guest editor William D. Westwood Visualizza cluster
Pubblicazione: Bristol ; Philadelphia : IoP, c1998
Descrizione fisica: 1 v. (paginazione varia) : ill. ; 31 cm.
Disciplina: 530.4175
Soggetto topico: Film sottili - Fisica
Persona (resp. second.): GLOCKER, David A.
SHAH, S. Ismat
WESTWOOD, William D.
Note generali: A fogli mobili
Titolo autorizzato: 98  Visualizza cluster
ISBN: 0-7503-0528-2
Formato: Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione: Inglese
Record Nr.: 990001837070203316
Lo trovi qui: Univ. di Salerno
Collocazione: 530.4175 HAN (98/1)
530.4175 HAN (98/1 A)
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Fa parte di: Handbook of thin film process technology
Biblioteca: Univ. di Salerno
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