Laser Heat-Mode Lithography : Principle and Methods / Jingsong Wei |
Autore | Wei, Jingsong |
Pubbl/distr/stampa | Singapore, : Springer, 2019 |
Descrizione fisica | xiii, 208 p. : ill. ; 24 cm |
Soggetto topico |
00A79 (77-XX) - Physics [MSC 2020]
78A60 - Lasers, masers, optical bistability, nonlinear optics [MSC 2020] 74K35 - Thin films [MSC 2020] 74A50 - Structured surfaces and interfaces, coexistent phases [MSC 2020] |
Soggetto non controllato |
Arbitrary pattern writing
Maskless lithography Metallo-organic compound Phase change Thermal diffusion |
Formato | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione | eng |
Titolo uniforme | |
Record Nr. | UNICAMPANIA-VAN0219625 |
Wei, Jingsong | ||
Singapore, : Springer, 2019 | ||
Materiale a stampa | ||
Lo trovi qui: Univ. Vanvitelli | ||
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Laser Heat-Mode Lithography : Principle and Methods / Jingsong Wei |
Autore | Wei, Jingsong |
Pubbl/distr/stampa | Singapore, : Springer, 2019 |
Descrizione fisica | xiii, 208 p. : ill. ; 24 cm |
Soggetto topico |
00A79 (77-XX) - Physics [MSC 2020]
74A50 - Structured surfaces and interfaces, coexistent phases [MSC 2020] 74K35 - Thin films [MSC 2020] 78A60 - Lasers, masers, optical bistability, nonlinear optics [MSC 2020] |
Soggetto non controllato |
Arbitrary pattern writing
Maskless lithography Metallo-organic compound Phase change Thermal diffusion |
Formato | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione | eng |
Titolo uniforme | |
Record Nr. | UNICAMPANIA-VAN00219625 |
Wei, Jingsong | ||
Singapore, : Springer, 2019 | ||
Materiale a stampa | ||
Lo trovi qui: Univ. Vanvitelli | ||
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