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Laser Heat-Mode Lithography : Principle and Methods / Jingsong Wei
Laser Heat-Mode Lithography : Principle and Methods / Jingsong Wei
Autore Wei, Jingsong
Pubbl/distr/stampa Singapore, : Springer, 2019
Descrizione fisica xiii, 208 p. : ill. ; 24 cm
Soggetto topico 00A79 (77-XX) - Physics [MSC 2020]
78A60 - Lasers, masers, optical bistability, nonlinear optics [MSC 2020]
74K35 - Thin films [MSC 2020]
74A50 - Structured surfaces and interfaces, coexistent phases [MSC 2020]
Soggetto non controllato Arbitrary pattern writing
Maskless lithography
Metallo-organic compound
Phase change
Thermal diffusion
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Titolo uniforme
Record Nr. UNICAMPANIA-VAN0219625
Wei, Jingsong  
Singapore, : Springer, 2019
Materiale a stampa
Lo trovi qui: Univ. Vanvitelli
Opac: Controlla la disponibilità qui
Laser Heat-Mode Lithography : Principle and Methods / Jingsong Wei
Laser Heat-Mode Lithography : Principle and Methods / Jingsong Wei
Autore Wei, Jingsong
Pubbl/distr/stampa Singapore, : Springer, 2019
Descrizione fisica xiii, 208 p. : ill. ; 24 cm
Soggetto topico 00A79 (77-XX) - Physics [MSC 2020]
74A50 - Structured surfaces and interfaces, coexistent phases [MSC 2020]
74K35 - Thin films [MSC 2020]
78A60 - Lasers, masers, optical bistability, nonlinear optics [MSC 2020]
Soggetto non controllato Arbitrary pattern writing
Maskless lithography
Metallo-organic compound
Phase change
Thermal diffusion
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Titolo uniforme
Record Nr. UNICAMPANIA-VAN00219625
Wei, Jingsong  
Singapore, : Springer, 2019
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Opac: Controlla la disponibilità qui