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2012 70th Annual Device Research Conference
2012 70th Annual Device Research Conference
Pubbl/distr/stampa [Place of publication not identified], : IEEE, 2012
Descrizione fisica 1 online resource (278 pages)
Disciplina 621.381
Soggetto topico Microelectromechanical systems - Reliability
Microelectromechanical systems - Design and construction
ISBN 1-4673-1164-2
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Record Nr. UNISA-996215694403316
[Place of publication not identified], : IEEE, 2012
Materiale a stampa
Lo trovi qui: Univ. di Salerno
Opac: Controlla la disponibilità qui
2012 70th Annual Device Research Conference
2012 70th Annual Device Research Conference
Pubbl/distr/stampa [Place of publication not identified], : IEEE, 2012
Descrizione fisica 1 online resource (278 pages)
Disciplina 621.381
Soggetto topico Microelectromechanical systems - Reliability
Microelectromechanical systems - Design and construction
ISBN 9781467311649
1467311642
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Record Nr. UNINA-9910130687003321
[Place of publication not identified], : IEEE, 2012
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Reliability of MEMS [[electronic resource] ] : testing of materials and devices / / edited by Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya
Reliability of MEMS [[electronic resource] ] : testing of materials and devices / / edited by Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya
Edizione [2nd ed.]
Pubbl/distr/stampa Weinheim, : Wiley-VCH, 2013
Descrizione fisica 1 online resource (325 p.)
Disciplina 539.60113
Altri autori (Persone) TabataOsamu
TsuchiyaToshiyuki
Collana Advanced micro & nanosystems
Soggetto topico Microelectromechanical systems - Reliability
Soggetto genere / forma Electronic books.
ISBN 3-527-67503-5
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Nota di contenuto Title Page; Preface; Foreword; Contents; List of Contributors; Overview; 1 Evaluation of Mechanical Properties of MEMS Materials and Their Standardization; 2 Elastoplastic Indentation Contact Mechanics of Homogeneous Materials and Coating - Substrate Systems; 3 Thin film Characterization Using the Bulge Test; 4 Uniaxial Tensile Test for MEMS Materials; 5 On chip Testing of MEMS; 6 Reliability of a Capacitive Pressure Sensor; 7 Inertial Sensors; 8 High accuracy, High reliability MEMS Accelerometer; 9 Reliability of MEMS Variable Optical Attenuator; 10 Eco Scan MEMS Resonant Mirror; Index
Record Nr. UNINA-9910462702003321
Weinheim, : Wiley-VCH, 2013
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Reliability of MEMS [[electronic resource] ] : testing of materials and devices / / edited by Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya
Reliability of MEMS [[electronic resource] ] : testing of materials and devices / / edited by Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya
Edizione [2nd ed.]
Pubbl/distr/stampa Weinheim, : Wiley-VCH, 2013
Descrizione fisica 1 online resource (325 p.)
Disciplina 539.60113
Altri autori (Persone) TabataOsamu
TsuchiyaToshiyuki
Collana Advanced micro & nanosystems
Soggetto topico Microelectromechanical systems - Reliability
ISBN 3-527-67503-5
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Nota di contenuto Title Page; Preface; Foreword; Contents; List of Contributors; Overview; 1 Evaluation of Mechanical Properties of MEMS Materials and Their Standardization; 2 Elastoplastic Indentation Contact Mechanics of Homogeneous Materials and Coating - Substrate Systems; 3 Thin film Characterization Using the Bulge Test; 4 Uniaxial Tensile Test for MEMS Materials; 5 On chip Testing of MEMS; 6 Reliability of a Capacitive Pressure Sensor; 7 Inertial Sensors; 8 High accuracy, High reliability MEMS Accelerometer; 9 Reliability of MEMS Variable Optical Attenuator; 10 Eco Scan MEMS Resonant Mirror; Index
Record Nr. UNINA-9910786109203321
Weinheim, : Wiley-VCH, 2013
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Reliability of MEMS : testing of materials and devices / / edited by Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya
Reliability of MEMS : testing of materials and devices / / edited by Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya
Edizione [2nd ed.]
Pubbl/distr/stampa Weinheim, : Wiley-VCH, 2013
Descrizione fisica 1 online resource (325 p.)
Disciplina 539.60113
Altri autori (Persone) TabataOsamu
TsuchiyaToshiyuki
Collana Advanced micro & nanosystems
Soggetto topico Microelectromechanical systems - Reliability
ISBN 9783527675036
3527675035
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Nota di contenuto Title Page; Preface; Foreword; Contents; List of Contributors; Overview; 1 Evaluation of Mechanical Properties of MEMS Materials and Their Standardization; 2 Elastoplastic Indentation Contact Mechanics of Homogeneous Materials and Coating - Substrate Systems; 3 Thin film Characterization Using the Bulge Test; 4 Uniaxial Tensile Test for MEMS Materials; 5 On chip Testing of MEMS; 6 Reliability of a Capacitive Pressure Sensor; 7 Inertial Sensors; 8 High accuracy, High reliability MEMS Accelerometer; 9 Reliability of MEMS Variable Optical Attenuator; 10 Eco Scan MEMS Resonant Mirror; Index
Record Nr. UNINA-9910973148003321
Weinheim, : Wiley-VCH, 2013
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Reliability of MEMS [[electronic resource] /] / edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya
Reliability of MEMS [[electronic resource] /] / edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya
Edizione [11th ed.]
Pubbl/distr/stampa Weinheim, : Wiley-VCH, c2008
Descrizione fisica 1 online resource (0 p.)
Disciplina 615.7
Altri autori (Persone) TsuchiyaToshiyuki
TabataOsamu <1956->
Collana Advanced micro & nanosystems
Soggetto topico Microelectromechanical systems - Reliability
Electrical engineering
Soggetto genere / forma Electronic books.
ISBN 1-281-94693-1
9786611946937
3-527-62213-6
3-527-62256-X
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Record Nr. UNINA-9910144096303321
Weinheim, : Wiley-VCH, c2008
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Reliability of MEMS [[electronic resource] /] / edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya
Reliability of MEMS [[electronic resource] /] / edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya
Edizione [11th ed.]
Pubbl/distr/stampa Weinheim, : Wiley-VCH, c2008
Descrizione fisica 1 online resource (0 p.)
Disciplina 615.7
Altri autori (Persone) TsuchiyaToshiyuki
TabataOsamu <1956->
Collana Advanced micro & nanosystems
Soggetto topico Microelectromechanical systems - Reliability
Electrical engineering
ISBN 1-281-94693-1
9786611946937
3-527-62213-6
3-527-62256-X
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Record Nr. UNINA-9910829996103321
Weinheim, : Wiley-VCH, c2008
Materiale a stampa
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Opac: Controlla la disponibilità qui
Reliability of MEMS / / edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya
Reliability of MEMS / / edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya
Edizione [11th ed.]
Pubbl/distr/stampa Weinheim, : Wiley-VCH, c2008
Descrizione fisica 1 online resource (0 p.)
Disciplina 615.7
Altri autori (Persone) TsuchiyaToshiyuki
TabataOsamu <1956->
Collana Advanced micro & nanosystems
Soggetto topico Microelectromechanical systems - Reliability
Electrical engineering
ISBN 1-281-94693-1
9786611946937
3-527-62213-6
3-527-62256-X
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Record Nr. UNINA-9911018835503321
Weinheim, : Wiley-VCH, c2008
Materiale a stampa
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