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IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors : RTP
IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors : RTP
Pubbl/distr/stampa Piscataway, N.J., : IEEE, ©2002-
Disciplina 537.622
Soggetto topico Semiconductors - Heat treatment
Rapid thermal processing
Semiconductor doping
Semiconductors - Defects
Soggetto genere / forma Periodicals.
Conference papers and proceedings.
ISSN 1944-026X
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Periodico
Lingua di pubblicazione eng
Altri titoli varianti RTP
Advanced thermal processing of semiconductors
Rapid Thermal Processing
Proceedings of the IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors
Record Nr. UNISA-996279733603316
Piscataway, N.J., : IEEE, ©2002-
Materiale a stampa
Lo trovi qui: Univ. di Salerno
Opac: Controlla la disponibilità qui
IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors : RTP
IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors : RTP
Pubbl/distr/stampa Piscataway, N.J., : IEEE, ©2002-
Disciplina 537.622
Soggetto topico Semiconductors - Heat treatment
Rapid thermal processing
Semiconductor doping
Semiconductors - Defects
Soggetto genere / forma Periodicals.
Conference papers and proceedings.
ISSN 1944-026X
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Periodico
Lingua di pubblicazione eng
Altri titoli varianti RTP
Advanced thermal processing of semiconductors
Rapid Thermal Processing
Proceedings of the IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors
Record Nr. UNINA-9910625192903321
Piscataway, N.J., : IEEE, ©2002-
Materiale a stampa
Lo trovi qui: Univ. Federico II
Opac: Controlla la disponibilità qui