IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors : RTP |
Pubbl/distr/stampa | Piscataway, N.J., : IEEE, ©2002- |
Disciplina | 537.622 |
Soggetto topico |
Semiconductors - Heat treatment
Rapid thermal processing Semiconductor doping Semiconductors - Defects |
Soggetto genere / forma |
Periodicals.
Conference papers and proceedings. |
ISSN | 1944-026X |
Formato | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Periodico |
Lingua di pubblicazione | eng |
Altri titoli varianti |
RTP
Advanced thermal processing of semiconductors Rapid Thermal Processing Proceedings of the IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors |
Record Nr. | UNISA-996279733603316 |
Piscataway, N.J., : IEEE, ©2002- | ||
Materiale a stampa | ||
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IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors : RTP |
Pubbl/distr/stampa | Piscataway, N.J., : IEEE, ©2002- |
Disciplina | 537.622 |
Soggetto topico |
Semiconductors - Heat treatment
Rapid thermal processing Semiconductor doping Semiconductors - Defects |
Soggetto genere / forma |
Periodicals.
Conference papers and proceedings. |
ISSN | 1944-026X |
Formato | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Periodico |
Lingua di pubblicazione | eng |
Altri titoli varianti |
RTP
Advanced thermal processing of semiconductors Rapid Thermal Processing Proceedings of the IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors |
Record Nr. | UNINA-9910625192903321 |
Piscataway, N.J., : IEEE, ©2002- | ||
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