Principles of microelectromechanical systems / / Ki Bang Lee |
Autore | Lee Ki Bang |
Edizione | [1st edition] |
Pubbl/distr/stampa | Hoboken, New Jersey : , : WILEY/IEEE Press, , c2011 |
Descrizione fisica | 1 online resource (681 p.) |
Disciplina | 621.381 |
Altri autori (Persone) | LeeKi Bang |
Soggetto topico |
Microelectromechanical systems
Microtechnology |
ISBN |
1-283-02489-6
9786613024893 0-470-64966-6 0-470-64967-4 |
Formato | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione | eng |
Nota di contenuto | Microfabrication -- Statics -- Static behavior of microstructures -- Dynamics -- Fluid dynamics -- Electromagnetics -- Piezoelectric and thermal actuators -- Electrostatic and electromagnetic actuators -- Sensors. |
Record Nr. | UNINA-9910139401403321 |
Lee Ki Bang | ||
Hoboken, New Jersey : , : WILEY/IEEE Press, , c2011 | ||
Materiale a stampa | ||
Lo trovi qui: Univ. Federico II | ||
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Principles of microelectromechanical systems / / Ki Bang Lee |
Autore | Lee Ki Bang |
Edizione | [1st edition] |
Pubbl/distr/stampa | Hoboken, New Jersey : , : WILEY/IEEE Press, , c2011 |
Descrizione fisica | 1 online resource (681 p.) |
Disciplina | 621.381 |
Altri autori (Persone) | LeeKi Bang |
Soggetto topico |
Microelectromechanical systems
Microtechnology |
ISBN |
1-283-02489-6
9786613024893 0-470-64966-6 0-470-64967-4 |
Formato | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione | eng |
Nota di contenuto | Microfabrication -- Statics -- Static behavior of microstructures -- Dynamics -- Fluid dynamics -- Electromagnetics -- Piezoelectric and thermal actuators -- Electrostatic and electromagnetic actuators -- Sensors. |
Record Nr. | UNINA-9910830740403321 |
Lee Ki Bang | ||
Hoboken, New Jersey : , : WILEY/IEEE Press, , c2011 | ||
Materiale a stampa | ||
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