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Digest of papers : Microprocesses and Nanotechnology 2004 : 2004 International Microprocesses and Nanotechnology Conference : October 26-29, 2004, conference (october 26 technical Seminar, 27-29 Conference) : Osaka, Japan
Digest of papers : Microprocesses and Nanotechnology 2004 : 2004 International Microprocesses and Nanotechnology Conference : October 26-29, 2004, conference (october 26 technical Seminar, 27-29 Conference) : Osaka, Japan
Pubbl/distr/stampa [Place of publication not identified], : Japan Society of Applied Physics, 2004
Disciplina 621.3815/31
Soggetto topico Microfabrication - Very large scale integration - Design and construction
Integrated circuits
Lithography
Nanotechnology
Microelectronics
Physics
Physical Sciences & Mathematics
Atomic Physics
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Record Nr. UNISA-996206243603316
[Place of publication not identified], : Japan Society of Applied Physics, 2004
Materiale a stampa
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Digest of papers : Microprocesses and nanotechnology 2007 : 2007 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, November 5-8, 2007, Koyto International Conference Center, Kyoto, Japan
Digest of papers : Microprocesses and nanotechnology 2007 : 2007 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, November 5-8, 2007, Koyto International Conference Center, Kyoto, Japan
Pubbl/distr/stampa [Place of publication not identified], : Japan Society of Applied Physics, 2007
Disciplina 620/.5
Soggetto topico Nanotechnology
Microelectronics
Microlithography
Electrical & Computer Engineering
Engineering & Applied Sciences
Electrical Engineering
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Record Nr. UNISA-996200407103316
[Place of publication not identified], : Japan Society of Applied Physics, 2007
Materiale a stampa
Lo trovi qui: Univ. di Salerno
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Digest of papers microprocesses and nanotechnology 2005 : 2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, October 25-28, 2005, conference (October 25 technical seminar, 26-28 conference), Hotel Bellclassic Tokyo, Japan
Digest of papers microprocesses and nanotechnology 2005 : 2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, October 25-28, 2005, conference (October 25 technical seminar, 26-28 conference), Hotel Bellclassic Tokyo, Japan
Pubbl/distr/stampa [Place of publication not identified], : Japan Society of Applied Physics, 2005
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Record Nr. UNISA-996204923603316
[Place of publication not identified], : Japan Society of Applied Physics, 2005
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JSAP international
JSAP international
Pubbl/distr/stampa Tokyo, : Japan Society of Applied Physics, c2000-
Descrizione fisica 1 online resource
Soggetto topico Physics
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Periodico
Lingua di pubblicazione eng
Record Nr. UNISA-996213482903316
Tokyo, : Japan Society of Applied Physics, c2000-
Materiale a stampa
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JSAP international
JSAP international
Pubbl/distr/stampa Tokyo, : Japan Society of Applied Physics, c2000-
Descrizione fisica 1 online resource
Soggetto topico Physics
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Periodico
Lingua di pubblicazione eng
Record Nr. UNINA-9910142652303321
Tokyo, : Japan Society of Applied Physics, c2000-
Materiale a stampa
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