Atomlagenabscheidung von hafniumoxid / / Thomas Zilbauer
| Atomlagenabscheidung von hafniumoxid / / Thomas Zilbauer |
| Autore | Zilbauer Thomas |
| Edizione | [1. Auflage.] |
| Pubbl/distr/stampa | Göttingen, [Germany] : , : Cuvillier Verlag, , 2010 |
| Descrizione fisica | 1 online resource (152 pages) : illustrations (some color) |
| Disciplina | 660.04 |
| Soggetto topico |
Chemical vapor deposition
Atomic layer deposition Hafnium oxide |
| ISBN | 3-7369-3270-7 |
| Formato | Materiale a stampa |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | ger |
| Record Nr. | UNINA-9910794942103321 |
Zilbauer Thomas
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| Göttingen, [Germany] : , : Cuvillier Verlag, , 2010 | ||
| Lo trovi qui: Univ. Federico II | ||
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Atomlagenabscheidung von hafniumoxid / / Thomas Zilbauer
| Atomlagenabscheidung von hafniumoxid / / Thomas Zilbauer |
| Autore | Zilbauer Thomas |
| Edizione | [1. Auflage.] |
| Pubbl/distr/stampa | Göttingen, [Germany] : , : Cuvillier Verlag, , 2010 |
| Descrizione fisica | 1 online resource (152 pages) : illustrations (some color) |
| Disciplina | 660.04 |
| Soggetto topico |
Chemical vapor deposition
Atomic layer deposition Hafnium oxide |
| ISBN | 3-7369-3270-7 |
| Formato | Materiale a stampa |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | ger |
| Record Nr. | UNINA-9910822746903321 |
Zilbauer Thomas
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| Göttingen, [Germany] : , : Cuvillier Verlag, , 2010 | ||
| Lo trovi qui: Univ. Federico II | ||
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